サービス概要 · 01
到達圧力を、
到達圧力を、
仕様値どおりに。
Hiroto Nishimaki は油回転式・ドライ式両方の真空ブースター修理に対応します。ロータ表面の微小傷、ステータの内径摩耗、メタリックの摩耗を、計測器と職人技で同時に解決します。
組立後は工室内真空試験装置で到達圧力を実測し、成績書として納品します。
- 到達圧力：10⁻³ 〜 10⁻⁶ Pa クラス
- 排除速度：〜 10,000 L/s まで
- 対応メーカー：EDWARDS / LEYBOLD / ALCATEL / SHIMADZU ほか
作業工程 · 02
真空ブースター修理の
真空ブースター修理の
標準作業工程。
01
分解
クリーン環境下での分解
クラス10,000の無塵室で分解。コンタミ管理を厳密に行います。
02
研磨
ロータ・ステータ研磨
表面粗さRa 0.2以下まで専用研磨機と手仕上げで処理します。
03
ベーン交換
ベーン全数交換
純正同等品のベーンに全数交換します。磨耗粉の内部残留を防ぎます。
04
真空試験
到達圧力試験
社内真空試験装置で実測。仕様値に対し合格判定後に出荷します。
よくある質問 · 03
真空ブースター修理に
真空ブースター修理に
関するご質問。
8〜14日が目安です。Hiroto Nishimaki は半導体ラインの緊急対応枠もご用意しています。
はい。Hiroto Nishimaki は油回転式とドライ式（ルーツ式、クライオ式含む）の両方に対応します。
はい。Hiroto Nishimaki は標準修理完了日から十二か月、稼働条件における不具合を無償で対応します。
お問い合わせ · 04
Hiroto Nishimaki へのお問い合わせ。
横浜本社101-0051, 3-5-8 Kanda-Jimbocho, Chiyoda City, Tokyo